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分子泵有三种类型：牵引型分子泵、涡轮分子泵和复合型分子泵。按制造结构，可分为油润滑、脂润滑、磁悬浮(单磁永磁悬浮、全磁悬浮)。

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压缩比通常是指泵的排气压力与进气压力的比值. 对于涡轮分子泵来说, 压缩比是指在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。压缩比的高低取决于几个因素, *重要的因素是气体的类型和涡轮分子泵的设计. 压缩比越高, 在分子泵进气口得到的*终压力就越低, 也就是分子泵的极限压力越低.

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气膜轴承

使用空气膜轴承的涡轮分子泵已有商品出售，因为空气轴承需要在连续不断地供给无颗粒物的干燥的高压空气。这样空气源的故障将会引起金属高速摩擦接触，使轴承瞬间遭到破坏。